2012-01-03 16:20:08coolanews
成大鄭芳田講座教授榮獲傑出科技貢獻獎
〔記者林東良南市報導〕全球半導體製造系統虛擬量測研究先驅，國立成功大學製造資訊與系統研究所鄭芳田講座教授，以獨步全球之先進技術「雙階段虛擬量測方法」，榮獲行政院二０一一年「傑出科技貢獻獎」，曾獲傑出科技貢獻獎的成大校長黃煌煇十分欣喜地表示，成大又產生一位影響力深遠的科技大師。
成大校長黃煌煇於二００六年榮獲得行政院傑出科技貢獻獎；黃煌煇校長說，行政院傑出科技貢獻獎，不僅表彰學術上的傑出研究，更重要的還需有專利與技轉且對產業有實質的貢獻；鄭芳田講座教授的「雙階段虛擬量測方法」，已經應用在各科技大廠，深獲業界的高度肯定，行政院頒發的獎項，誠為實至名歸。
鄭芳田講座教授研發的「雙階段虛擬量測方法」兼顧立即性與準確性；除了能在剛收集到機台製程資料後，即時產生第一階段虛擬量測值以滿足立即性需求外，亦可在取得被抽測之工件的實際量測值後（用以重新訓練或調校），重新計算此被抽測之工件所屬卡匣內之所有工件的第二階段虛擬量測值，俾滿足準確性之需求。
另外，「雙階段虛擬量測方法」亦提供信心度指標及相似度指標，可進行失效原因追溯與生產機台資料分析，令使用者能安心採用，可將產品品質檢測覆蓋率提高到一百％，且有能支援逐片檢測模式之先進製程Ｒｕｎ．ｔｏ．Ｒｕｎ控制。此最先進的虛擬量測技術，已經廣泛應用在半導體、面板、以及太陽能產業等生產線上。