2002-03-29 23:00:15小凱妮
到底何謂晶圓Wafer?
最近吵翻天的八吋晶圓,到底是什麼ㄌ?
介紹一下!!
我國就是怕八吋晶圓工廠進去大陸後,技術會被學走,其實這樣不是很好嗎?
提升競爭力呀!!
Wafer:晶圓
製造晶片的材料,每塊數英吋直徑大小的晶圓,經過複雜的化學和電子過程處理(製程)後,布設成多層精細的電子線路。每塊晶圓上可翻製出數以百計的相同晶片。矽晶圓材料(Wafer)是半導體晶圓廠(Fab)內用來生產矽晶片的材料,依面積大小而有五吋、六吋、八吋(直徑)等規格之分。一根八吋矽晶棒重量約一百二十公斤,切割成一片片的八吋晶圓後,送至八吋晶圓廠內製造晶片電路(Die),這些晶片電路再經封裝測試等程序,便成為市面上一顆顆的IC。 但因矽晶棒所切割出的晶圓片中,品質較好者,稱為生產晶圓(Prime Wafer),更高級者稱為磊晶圓(Epi-Wafer),上述晶圓幾乎都集中在矽晶圓棒的「中間」一段,頭、尾兩端所切割出的晶圓,出現瑕庛的比例較高,大多用做非生產用途,稱為測試晶圓(共有Test Wafer或Dummy Wafer或Monitor Wafer等不等名稱),一片測試晶圓的售價大約是生產晶圓的五成至六成。 半導體晶圓廠內設備進行生產前,均需以測試晶圓來量測爐管溫度、金屬層、化學品濃度、沈積厚度,量測後的測試晶圓通常會報廢。但因近幾年來歐、美、日等晶圓材料製造廠產能吃緊,加上八吋晶圓廠陸續落成,六吋或八吋測試晶圓的單價頗高,晶圓廠為節省成本,通常會送至日本或美國再加工,將測試晶圓上的粒子與晶層經過蝕刻與磨平程序,可重新回收賣給晶圓廠使用,稱為Reclaim Wafer或Recycle Wafer(意為「再生」晶圓)。目前台灣晶圓廠商大多是將使用過的測試晶圓送至日本三益(Mimasu)、濱田(Hamada)及住友旗下的Sitix晶圓材料廠做再生加工。
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我國就是怕八吋晶圓工廠進去大陸後,技術會被學走,其實這樣不是很好嗎?
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Wafer:晶圓
製造晶片的材料,每塊數英吋直徑大小的晶圓,經過複雜的化學和電子過程處理(製程)後,布設成多層精細的電子線路。每塊晶圓上可翻製出數以百計的相同晶片。矽晶圓材料(Wafer)是半導體晶圓廠(Fab)內用來生產矽晶片的材料,依面積大小而有五吋、六吋、八吋(直徑)等規格之分。一根八吋矽晶棒重量約一百二十公斤,切割成一片片的八吋晶圓後,送至八吋晶圓廠內製造晶片電路(Die),這些晶片電路再經封裝測試等程序,便成為市面上一顆顆的IC。 但因矽晶棒所切割出的晶圓片中,品質較好者,稱為生產晶圓(Prime Wafer),更高級者稱為磊晶圓(Epi-Wafer),上述晶圓幾乎都集中在矽晶圓棒的「中間」一段,頭、尾兩端所切割出的晶圓,出現瑕庛的比例較高,大多用做非生產用途,稱為測試晶圓(共有Test Wafer或Dummy Wafer或Monitor Wafer等不等名稱),一片測試晶圓的售價大約是生產晶圓的五成至六成。 半導體晶圓廠內設備進行生產前,均需以測試晶圓來量測爐管溫度、金屬層、化學品濃度、沈積厚度,量測後的測試晶圓通常會報廢。但因近幾年來歐、美、日等晶圓材料製造廠產能吃緊,加上八吋晶圓廠陸續落成,六吋或八吋測試晶圓的單價頗高,晶圓廠為節省成本,通常會送至日本或美國再加工,將測試晶圓上的粒子與晶層經過蝕刻與磨平程序,可重新回收賣給晶圓廠使用,稱為Reclaim Wafer或Recycle Wafer(意為「再生」晶圓)。目前台灣晶圓廠商大多是將使用過的測試晶圓送至日本三益(Mimasu)、濱田(Hamada)及住友旗下的Sitix晶圓材料廠做再生加工。
感謝分享!
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