工商時報 D4/精密技術專輯 2007/10/15
雙軸長行程奈米級定位平台 精密

【張承運／雲林報導】
　　台灣第一套自行製造的「雙軸長行程奈米級精密定位平台系統」（下圖，張承運攝）為國立虎尾科技大學工程學院院長覺文郁、銀泰科技董事長白永耀領軍的產學合作團隊成果，已於各國際機械展公開發表，該團隊（覺文郁、白永耀、劉建宏、沈金鍾、林博正、陳介力、徐東暉、李羿宗）今（九十六）年六月更獲經濟部頒發第三屆奈米產業科技菁英獎學術類奈米菁英殊榮。
　　長行程奈米級定位平台為國科會三年期產學合作計畫，該平台特色為伺服控制長行程Ｘ-Ｙ二移動軸微米級定位與壓電材奈米級定位平台的兩段式定位平台，配合雷射干涉儀量測系統完成閉迴路控制，藉長行程伺服微米定位後，進行奈米微調，達到具長行程奈米級定位精度功能，最大工作範圍300mm×300mm、定位精度達10nm、角度定位精度達１arcsec、最大荷（載）重可達50kg、位移速度可達34.5mm/s、雙軸循圓定位精度達30nm、半導體蝕刻路徑定位精度10nm。適於精密機械、光電與半導體等產業，如三次元量床、曝光機製程設備、奈米壓印設備與半導體封裝設備等領域。關鍵技術有微奈米級三維量測系統、奈米精度控制和結構剛性與動態性能分析設計等，整合精密控制、精密量測、結構設計與加工組裝等四項主體。
　　該成果發表由虎尾科大機密機械技術研發中心與銀泰科技企業體共同合作，於94年配合銀泰科技參與的國際展包括台北、日本東京與德國漢若威等，以影片播放展出，實機亦實際運至北京第九屆中國國際 機床展覽會（94年４月）與第十屆中國國際機床展覽會（96年４月）展出，皆獲好評。
　　由覺文郁帶領的精密機械技術研發中心團隊，自90年起，即不斷設計研究出不同型式與功能的精密定位載具平台，成果斐然，包含長行程奈米定位平台、中行程多軸奈米定位平台、短行程多軸奈米定位平台等。其中，中行程平台為六軸奈米測量機平台，三軸定位精度要求達到10nm，此平台將可提供量測次微米級結構達到奈米級精度；短行程平台主要用於探討奈米平台研製、分析與量測，平台特點為利用材料具有彈性變形特性來設計撓性體，將撓性體設計成圓柱型及圓弧型兩種形狀，經由其排列方式組裝成一具有多自由度運動之機構，並搭配具有良好定位精度的壓電致動器與電容式探頭來驅動微動平台，以達到奈米級定位精度微動平台。