2009-11-27 10:46:48CAstro

節流閥 (throttle valve) 的工作原理與目的為何?

由步進馬達控制  throttle  valve  開關面積大小,  藉以調整  pumping  speed,  用以維持一定的真空壓力,  以控制化學沉基的速率.

 

[宸韓科技]